液体加熱用　透明石英ヒーター　ＱＴ型

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説　明

半導体産業をはじめ、光学用などの薬液を加熱するヒーター 化学的安定性、耐熱性、光の透過性、電気絶縁性などに数多くの優れた特性をもつ透明石英を使用したヒーターです。 石英管を使用していますので金属イオンを嫌う薬液・純水や、金属では腐食するような酸性液の加熱に適したヒーターです。 フッ化物、アルカリ性液体は不可

種　類

透明石英ヒーター

透明石英二重管ヒーター

半導体ＲＣＡ洗浄装置の分野に使用されている石英ガラスを反応させる腐食性の強い液体（リン酸等）の加熱に使われています。 発熱体は非接触構造により従来型にくらべ長寿命を実現しています。

透明石英カートリッジヒーター

透明石英ヒーター

表１　型　番　表

型　　番	電圧	相数	電力	Ａ	Ｂ	Ｃ	Ｄ	石英管径
QT1-21	200V	単相	1.0kW	300	300	135	60	OD16
QT1-21.5			1.5kW	300	350	135	60	OD16
QT1-22			2.0kW	300	400	135	60	OD16
QT1-22.5			2.5kW	300	450	135	90	OD20
QT1-23			3.0kW	300	500	135	100	OD20

図１　ＱＴ１型　外形図

透明石英二重管ヒーター

半導体ＲＣＡ洗浄装置の分野に使用されている石英ガラスを反応させる腐食性の強い液体（リン酸等）の加熱に使われています。 発熱体は非接触構造により従来型にくらべ長寿命を実現しています。

表２　型　番　表

型　　番	電圧	相数	電力	Ａ	Ｂ	Ｃ	石英管径Ｄ	石英管径Ｅ
QT2-21	200V	単相	1.0kW	300	400	135	OD28	OD22
QT2-21.5			1.5kW	300	450	135	OD28	OD22
QT2-22			2.0kW	350	550	135	OD33	OD27
QT2-22.5			2.5kW	400	600	135	OD33	OD27
QT2-23			3.0kW	400	600	135	OD40	OD32

図２　ＱＴ２型　外形図

図はリーク検知方式です。(検知方式にはリーク検知方式と加圧検知方式があります)

透明石英三重管式熱交換器

下記の透明石英カートリッジヒーターと組合せて使用し、ＲＣＡ洗浄装置等で石英ガラスを腐食させる薬液を加熱するためのものです

表３　寸　法　表

Ａ	Ｂ	Ｃ	Ｄ１	Ｄ２	加圧検知管Ｅ	Ｆ	Ｇ１、Ｇ２
OD30	OD36	OD55	OD12X35	OD8X35	OD7XOD3X25	15	15

図３　透明石英三重管式熱交換器　外形図

透明石英カートリッジヒーター

透明石英カートリッジヒーター（発熱体非接触構造）

透明石英三重管式熱交換器と組合せて使用し、ＲＣＡ洗浄装置等で石英ガラスを腐食させる薬液を加熱するためのものです

図４　透明石英カートリッジヒーター（発熱体非接触構造）　外形図

表４　寸　法　表

電圧	相数	電力	Ａ	Ｂ	Ｃ	石英管径Ｄ
200V	単相	3.0kW	560	440	20	OD28

特注品

1. 石英管の形状は、記載されている以外も製作可能です。

取付例

図５ 透明石英三重管式熱交換器