液体加熱用　純水加熱器　ＳＰ型

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説　明

半導体や液晶等の洗浄に使用する純水を加熱 受注生産品 ヒーターエレメントおよび接液部のステンレス表面処理として、電解研磨を施し純水への不純物溶出を抑えています。 石英ヒーター・石英槽を使用した加熱装置に比べ、堅牢でかつ大幅なコストダウンを実現します。 ４ケ所のキャスター（アジャストボルト付き）により、設置およびメンテナスや定期点検等での移動が容易です。

用　途

純水を70〜90℃まで加熱して洗浄効果を高める、高性能純水加熱器です。

フロン等の溶剤に替わって純水が使用される、半導体や液晶製造の洗浄工程などに用いられます。

全面パネル式でクリーンルーム対応。洗浄装置に連結し、遠隔操作することもできます。

仕　様

1. 電源電圧：　３相200Ｖ

2. 形　状：　縦形　加熱器（シェル型ヒーター）と温度制御盤のユニット品

3. 圧力：0.1MPa・G以下

4. 温水ボイラー適用区分：簡易ボイラー　・・・詳細は（シェル型ヒーター　特注品参照）

5. 材　質：

適　用	材　質	備　考
ヒーター	SUS316L	O.D.12　接液部電解研磨
シェル	SUS316L	接液部電解研磨
IN-OUT	SUS316L	JIS10K板フランジまたは管継手
パネル・フレーム	SPCC・SS	焼付塗装　マンセルNo. 7.5Y 9/1

目　的

水、および洗浄液等で記載の材質で腐食されない液体加熱

水以外の場合は別途お問い合わせ下さい。

種　類

純水加熱器ＳＰ型ヒーターは受注生産品のため仕様の打合せが必要となります。
寸法や質量も詳細仕様により異なりますので、「表１」は参考データとしてご利用下さい。

仕様の詳細については、下記の「仕様の確認事項」をご参照下さい。

表1　型番表

型　番	電　力 kW	流　量 リットル/min	温度差 ＊１ ℃	寸　法 mm Ｌ×Ｗ×Ｈ	連　結 ＊２ kg	質　量 kg
SP- 40	40	10	50	600×800×1430	１連	185
SP- 60	60	15		600×850×1600	１連	230
SP- 80	80	20		600×850×1600	１連	240
SP-100	100	25		900×1000×1690	２連	330
SP-120	120	30		900×1000×1690	２連	340
SP-160	160	40		900×1000×1690	２連	400

　

＊１：温度差はINLETとOUTLETにおける純水の温度差を示します。

＊２：連結はシェル型ヒーターの連結数を示します。

図１　参考図　3相200V40kW IN・OUT管継手G1(25A)

図２　参考図　3相200V120kW　2連式　IN・OUT管継手G1(25A)

型番説明

制御盤仕様

1. 温度制御：

• PIDサイリスタ方式＋ＯＮ/ＯＦＦ式

2. 安全装置：

• フロートスイッチ
  （液面レベル低下によりヒーター電源をＯＦＦにします）

• 純水出口温度のコントロールとヒーター表面温度の温度過昇防止を監視する二重安全装置により、異常高温時にヒーター電源をＯＦＦにします。

図３　制御盤内部

結線図（ヒータ３回路の例）

図４　結線図

• 温度センサーＡ：温度コントロール用Pt100Ω　測温抵抗体

• 温度センサーＢ：温度過昇防止用K(CA)　熱電対

• 制御方式：１回路はサイリスタ制御、２回路はＯＮ−ＯＦＦ制御

特注品

1. 電圧　200Ｖ以外の異電圧

2. 相数　3相以外　単相も製作できます。

3. 材質　パネルや接液部の材質変更

4. 温度　最高使用温度は摂氏100度です。摂氏100度以上でご使用の場合はご指示下さい。

5. 圧力　0.1MPa・Gを超えるもの

6. INLET・OUTLETの位置、形状（フランジ、管継手などの種類、サイズ）

7. ヒーター断線警報機

8. カレンダータイマー

9. ダブルエレメント（センサーの仕様）

10. 外部接点出し

など、ご相談ください。

特注品の例

１） ＩＮ・ＯＵＴの位置と形状・サイズ

使用状況に合わせて、フランジ・管継手としたり、位置を変更することが可能です。

ドレン抜きやバルブを付けることもできます。

２） 制御機器等の追加

断線警報器や警報装置など、追加する機器によっては制御盤の寸法を大きくする必要がある場合もあります。

図５　3相200V80kW　IN・OUT　JIS10K　40A	図６　3相200V150kW　IN・OUT　JIS10K　100A

図７　ステンレスパネル

仕様の確認事項

純水加熱器ＳＰ型ヒーターは受注生産品のため仕様の打合せが必要となります。

製作に必要な代表的仕様を下記の一覧表にてご確認ください。

これ以外にも、お客様の使用状況に応じた仕様で製作するため必要に応じて詳細仕様の打合せをさせていただきます。

表２　純水加熱器製作における仕様の例

No.	確認事項	仕様（参考例）
1.	使用場所	クリーンルーム内クラス100
2.	加熱液	純水　20℃
3.	加熱量	10リットル/min
4.	加熱温度	70℃（温度差は50℃）
5.	設計温度	100℃
6.	使用圧力	0.098〜0.294MPa Gauge（1〜3ｋg／cm2G）
7.	出口温度精度	±2℃目標
8.	適用法規・規格	ボイラー及び圧力容器安全規則　適用区分：ボイラー
9.	ヒーター電源	3相400Ｖ
10.	操作盤電源	単相200Ｖ　60Hz
11.	ヒーター電力	80ｋＷ　（17.回路数も参照）
12.	予定数量	2台
13.	塗装色	焼き付け塗装　マンセル7.5　9/1
14.	寸法制限	高さ1700mm以下
15.	パネル文字	操作面　英文
16.	INLET−OUTLET	フランジJIS10K25A
17.	ヒーター回路数	ON-OFF側を2回路にしたい
18.	外観	全面パネル式
このほかにも必要な項目をご確認下さい。