透明石英ヒーター QT型
半導体産業をはじめ、光学用などの薬液を加熱するヒーターです。
製品概要
半導体産業をはじめ、光学用などの薬液を加熱するヒーター
化学的安定性、耐熱性、光の透過性、電気絶縁性などに数多くの優れた特性をもつ透明石英を使用したヒーターです。
石英管を使用していますので金属イオンを嫌う薬液・純水や、金属では腐食するような酸性液の加熱に適したヒーターです。
フッ化物、アルカリ性液体は不可
種類
透明石英ヒーター
透明石英二重管ヒーター
半導体RCA洗浄装置の分野に使用されている石英ガラスを反応させる腐食性の強い液体（リン酸等）の加熱に使われています。
発熱体は非接触構造により従来型にくらべ長寿命を実現しています。
透明石英カートリッジヒーター
透明石英ヒーター
表1 型番表
| 型 番 | 電圧 | 相数 | 電力 | A | B | C | D | 石英管径 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| QT1-21 | 200V | 単相 | 1.0kW | 300 | 300 | 135 | 60 | OD16 |
| QT1-21.5 | 1.5kW | 300 | 350 | 135 | 60 | OD16 | ||
| QT1-22 | 2.0kW | 300 | 400 | 135 | 60 | OD16 | ||
| QT1-22.5 | 2.5kW | 300 | 450 | 135 | 90 | OD20 | ||
| QT1-23 | 3.0kW | 300 | 500 | 135 | 100 | OD20 |
図1 QT1型 外形図
透明石英二重管ヒーター
半導体RCA洗浄装置の分野に使用されている石英ガラスを反応させる腐食性の強い液体（リン酸等）の加熱に使われています。 発熱体は非接触構造により従来型にくらべ長寿命を実現しています。
表2 型番表
| 型 番 | 電圧 | 相数 | 電力 | A | B | C | 石英管径D | 石英管径E |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| QT2-21 | 200V | 単相 | 1.0kW | 300 | 400 | 135 | OD28 | OD22 |
| QT2-21.5 | 1.5kW | 300 | 450 | 135 | OD28 | OD22 | ||
| QT2-22 | 2.0kW | 350 | 550 | 135 | OD33 | OD27 | ||
| QT2-22.5 | 2.5kW | 400 | 600 | 135 | OD33 | OD27 | ||
| QT2-23 | 3.0kW | 400 | 600 | 135 | OD40 | OD32 |
図2 QT2型 外形図
図はリーク検知方式です。(検知方式にはリーク検知方式と加圧検知方式があります)
透明石英二重管式熱交換器
下記の透明石英カートリッジヒーターと組合せて使用し、RCA洗浄装置等で石英ガラスを腐食させる薬液を加熱するためのものです
表3 寸法表
| A | B | C,D |
|---|---|---|
| ODφ36 X IDφ32 | ODφ55 X IDφ50 | φ12 × φ8 ×45 |
図3 透明石英二重管式熱交換器 外形図
透明石英カートリッジヒーター
透明石英カートリッジヒーター（発熱体非接触構造）
透明石英二重管式熱交換器と組合せて使用し、RCA洗浄装置等で石英ガラスを腐食させる薬液を加熱するためのものです
図4 透明石英カートリッジヒーター（発熱体非接触構造） 外形図
表4 寸法表
| 電圧 | 相数 | 電力 | A | B | C | 石英管径D |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 200V | 単相 | 3.0kW | 595 | 480 | 40 | ODφ30 × φ26 |
特注品
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石英管の形状は、記載されている以外も製作可能です。
取付例
図5 透明石英二重管式熱交換器
注意
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このヒーターは特に衝撃に弱いので取扱いに注意してください。
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ヒーター通電中は高温なので手が触れると危険です。
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ヒーターの通電終了直後は液より引上げても余熱により高温度となっていますので冷めてから取り出してください。
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このヒーターは水平に取付けてご使用ください。
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石英に素手で触れますと皮脂が付着し寿命が短くなります。
- 液体加熱ヒーター取扱上の注意をお読みください。
カタログPDFダウンロード
当該製品のカタログが下記よりダウンロードできます。
お問い合わせ 
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